一、應(yīng)用領(lǐng)域：
等離子刻蝕機(jī)清洗機(jī)用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機(jī)電源屬于150W13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

二、等離子清洗的方式：
（1）常規(guī)的清洗方法不能*將材料表面薄膜去除，而會(huì)留下一層很薄的雜質(zhì)層，而且溶劑清洗就是這類典型例子。  

（2）等離子清洗器使用就是通過等離子體對材料表面的轟擊，輕柔地和*地對表面擦洗。  

（3）等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等離子清洗不會(huì)在表面留下殘余物。

（4）等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

（5）等離子清洗器的優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

三、聚合物清洗原理介紹：  

①聚合物的表面清洗  

·等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表面的轟擊，機(jī)械地去除污物層。  

·等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層。  

②聚合物的表面重組  

·等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。  

·聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。  

·聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性。  

③聚合物的表面改性  

·等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。  

·基于等離子過程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。  

·聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變。  

④聚合物的表面鍍膜  

·等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。  

·如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們在等離子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

·這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

四、等離子刻蝕機(jī)清洗機(jī)鄭州科探儀器KT-S2DQX參數(shù)：