鉑金叉指電*低溫探針臺

產(chǎn)品簡介

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000Å 厚度的金層，后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟(jì)型探針臺。

產(chǎn)品型號：KT-Z4019MRL4T

更新時間：2024-03-29

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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品牌	鄭科探	價格區(qū)間	面議
自動化度	手動	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000? 厚度的金層，后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
紫外光刻。首先利用勻膠機在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠，厚度大約為 1~2μm，然后利用光刻機設(shè)備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進(jìn)行紫外曝光工藝，然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后，在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。

叉指電極是指狀或梳狀的面內(nèi)有周期性圖案的電極，它是通過電化學(xué)工藝加工獲得的超精細(xì)電路。作為電信號傳輸核心部件，廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療檢測、環(huán)境在線監(jiān)測，食品安全檢測，安全監(jiān)測等重要領(lǐng)域。

鉑金叉指電*低溫探針臺

鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)

真空腔體
類型	高溫型室溫到400℃	高低溫型室溫到400℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 最大值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）