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產品簡介
粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設計開發的一款小型高真空蒸發鍍膜系統。蒸發源可兼容金屬、有機物蒸發、金屬粉末等。配有樣品擋板，可手動或自動開/關擋板，達到及時遮擋樣品效果；觸摸屏控制，操作簡單，更有工藝儲存等功能。
| 品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池 |
粉末坩堝蒸鍍儀
鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色，有光澤，堅硬，含雜質的鉻硬而脆，具有很高的耐腐蝕性。它的熔點為1857℃，密度為7.2g / cm3，。它的名字來自希臘語“chroma"，意思是顏色，因為它的顏色非常豐富。它廣泛用于汽車工業，形成輪子和保險杠上的閃亮涂層。
熔點（°C）1857 密度（g / cm3）固態7.19 液體6.9 沸點： 2672.0 ℃ 熱導率：90.7W/m.K (300K)
鉻粉末 
鉻顆粒
-熱蒸發源：電阻式熱蒸發舟，交流電源、坩堝蒸發；
-
腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
-
泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock
樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
-
工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數據處理、工藝記憶儲存；
-
襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；
- 保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關擋板，達到及時遮擋樣品效果；
以下為蒸發鍍膜設備的示意圖：
以下是不同真空度 不同鍍膜時間碳紙鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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