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產品中心材料樣品檢測微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL微型高低溫真空探針臺
產品簡介
微型高低溫真空探針臺，這款真空變溫探針臺是專業變溫真空晶圓流測試設計的專業變溫真空探針臺,滿足晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍達到液氮溫度 -190℃~350℃,特別適合*溫和極低溫環境下晶圓真空變溫測試和射頻測試。
| 品牌 | 鄭科探 | 腔體材質 | 304不銹鋼 |
|---|
微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL是一款高性價比配置的真空高低溫探針臺，功能齊全，價格較低等特點。
高性價比真空高低溫探針臺系統
鄭州科探儀器設備有限公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺，該系統配置了溫度控制系統，為用戶提供精準、穩定、高效的溫度控制，節約用戶的設備預算。
配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統相關位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節省大量寶貴的實驗時間。由于系統中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統 的漏電精度。
真空變溫探針臺特點
測試溫度：-190℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
即使在真空狀態下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動致動器
良好的光和電屏蔽效果
KT-0904T-RL型探針臺可用于霍爾效應測量
微型高低溫真空探針臺KT-0904T-RL技術參數；
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 | |
樣品臺材質 | 304不銹鋼 |
樣品臺尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
樣品臺測溫傳感器 | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針（可定做6探針） |
探針材質 | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數 | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機分辨率 | 1080P 60幀 |
相機信號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機 |
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