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產品簡介
真空探針臺KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。
| 品牌 | 鄭科探 |
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真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探 針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
· 結構緊湊，適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設計，可通保護氣氛
· 4探針，手動定位（可擴展為6個）
· 支持改動或定制
真空探針臺KT-Z160TZ參數
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真空腔體 | |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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上蓋開啟 |
鉸鏈側開 |
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加熱臺材質 |
304不銹鋼 |
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內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺間距 |
75mm |
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加熱臺溫度 |
﹣196~400℃ |
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加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
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電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
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探針數量 |
4探針 |
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探針材質 |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動平臺 | |
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X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 | |
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顯微鏡類別 |
物鏡 |
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物鏡倍數 |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數 |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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